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吸着式排ガス処理装置
長年に渡る排ガス処理装置（除害装置）の開発・設計・製作のノウハウをもとに、お客様のご使用条件にあった最適な設備をご提供致します。吸着式除害装置では、処理対象ガスに最適な乾式除害剤の組み合わせにより、確実に排ガス処理を行います。研究用の小規模なものから生産工場用の大型装置まで豊富なラインナップで対応します。
ラインピュリファイヤー
半導体製造装置直前での末端精製を目的としたインライン式の小型精製器です。化学吸着、物理吸着により各種不純物成分を除去し、特殊材料ガスやバルクガスを超高純度に精製します。
シリンダーキャビネット
大陽日酸では、半導体・電子部品量産工場や大学・研究所をターゲットに高圧ガス保安法に準拠したシリンダーキャビネットや特殊材料ガスの大量供給システム(BSGS)をご提供しております。ガスの種類・ご使用量・ご使用圧力に応じた最適なシリンダーキャビネットをご提案致します。
燃焼式排ガス処理装置
長年に渡る排ガス処理装置（除害装置）の開発・設計・製作のノウハウをもとに、お客様のご使用条件にあった最適な設備をご提供致します。燃焼式除害装置は、CVDプロセスやエッチングプロセスで排出される可燃性、毒性ガス及びPFC等の難分解性ガスを副生成物（NOx、CO等）を抑制し、高効率で燃焼分解します。
高純度ガス精製装置
大陽日酸は窒素、酸素、水素、アルゴン、ヘリウムおよびアンモニア精製装置のトップカンパニーです。原料ガス中の酸素、二酸化炭素、一酸化炭素、水素および水分等の不純物成分を吸着除去して、対象ガスを超高純度に精製します。豊富なラインナップから最適な精製方式をご提供いたします。
総合ガスモニタリングシステム
お客様の生産工場・研究施設の規模やご使用されている特殊材料ガスに最適なシステムをご提供致します。
微量酸素分析計
大陽日酸のガス分析技術を活かして開発した当社固有の微量酸素分析計です。黄燐を用いた分析によって安全かつ高反応、高速での測定を実現します。

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