No.29（2010年）

2010年12月08日発行

巻頭言

大陽日酸100周年を迎えて	PDFダウンロード（166KB）

技術報告

超電導電力機器の冷凍・冷却技術の進展	PDFダウンロード（1,976KB）
磁気軸受式小型ターボ圧縮機の開発	PDFダウンロード（858KB）
22nm世代ULSI配線用キャップ層をターゲットとしたSi-C2H4-Si豊富なPECVD-SiCH膜形成のための新規原料設計	PDFダウンロード（868KB）
ハードマスクプロセスアモルファスカーボン成膜用アセチレンガス精製装置PICO-TRAP™の開発	PDFダウンロード（734KB）

技術紹介

量産型MOCVD装置向け反応炉パーツ洗浄技術	PDFダウンロード（478KB）
ファインセラミックスの脱脂および焼結雰囲気の最適化技術	PDFダウンロード（648KB）
マルチパーパス仕様低温反応制御システム	PDFダウンロード（352KB）
キャビティーリングダウン法による特殊ガス中の微量水分分析	PDFダウンロード（679KB）
大型超高純度窒素ガス精製装置	PDFダウンロード（424KB）
DR-PSA式キセノン回収装置の開発	PDFダウンロード（399KB）

設備紹介

国内最大のキセノン製造装置	PDFダウンロード（327KB）

商品紹介

液を採取する低コスト小型空気分離装置	PDFダウンロード（289KB）
最新の省電力窒素製造装置	PDFダウンロード（266KB）
レーザー加工用PSA式高純度窒素ガス発生装置	PDFダウンロード（231KB）
住宅・建材用亜鉛めっき鋼板向け溶接用シールドガス「スーパーサンアークZII」	PDFダウンロード（356KB）
硝子溶解炉向け新酸素燃焼アプリケーション「CGM」	PDFダウンロード（331KB）
アルゴンガス中微量窒素分析計	PDFダウンロード（294KB）
凍結保存容器用光ファイバ式液面計「Optical N2 View」	PDFダウンロード（1,024KB）
硫化カルボニル（COS）	PDFダウンロード（122KB）

特許紹介

最近公開された出願特許	PDFダウンロード（127KB）

大陽日酸技報に関するお問い合わせ