日本酸素ホールディングスグループの日本産業ガス事業会社である大陽日酸株式会社（本社：東京都品川区 代表取締役社長：永田 研二）は、米国のLit Thinkingから当社製MOCVD装置を初受注しました。

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Lit Thinkingは、主に空気中の病原体による感染リスクを軽減するための紫外線UVCの利用に注力し、深紫外線ライトを使った除菌装置の開発・販売を手掛けています。受注した当社製MOCVD（SR2000HT-RR）はUVオプトエレクトロニクスのデバイスおよびパワーエレクトロニクスの開発促進に必須となる高品質なアルミニウムガリウムナイトライド（AlGaN）やアルミニウムナイトライド（AIN）の安定的な製造に用いられます。当社装置が導入されることで同社の技術開発が加速し、商業製品の品質の向上が期待できます。
当社はUVLEDアプリケーションの可能性を広げることで、グローバル市場に対する当社製MOCVDの優位性や需要をさらに高めます。

※MOCVD（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）装置：原料に有機金属やガスを用いながら化合物半導体の成膜を行う装置。
※UV-C：紫外線（UV）は波長の長さによってUV-A、UV-B、UV-Cの3つに分けられ、100～280nmの波長を持つ電磁波をUV-C という。細菌やウイルスに対する殺菌効果があると知られている。

本件に関するお問い合わせ
大陽日酸株式会社
CSE事業部：045-872-1822
広報部: 03-5788-8015