日本酸素ホールディングスグループの日本産業ガス事業会社である大陽日酸株式会社（代表取締役社長：永田研二、以下、当社）は、国立大学法人名古屋工業大学・窒化物半導体マルチビジネス創生センター（学長：木下隆利）と共同で、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の2023 年度「脱炭素社会実現に向けた省エネルギー技術の研究開発・社会実装促進プログラム」追加公募に対して、「生産性に優れたSi 基板上GaN 系パワー半導体向けMOCVD 装置の開発」を提案し、このたび採択されました。

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　本提案では、脱炭素社会への貢献を目指し、高い電気エネルギー変換効率を持つGaN/Si エピ基板を安定的に供給可能なMOCVD装置を開発します。名古屋工業大学との連携を通じて、表面欠陥密度を低減する技術と、量産性に優れた結晶成長技術の要素検討を行います。さらに、機械学習による解析・予測の技術を新たに導入し、これにより省エネルギー効果を高めた世界最大級の次世代量産型MOCVD 装置の完成を目指します。当社は、本開発によって、脱炭素社会の実現と国内産業の活性化に貢献します。

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大陽日酸株式会社 広報部
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